北京辰泰克儀器技術(shù)有限責(zé)任公司

1  儀器的用途及使用范圍
ZDF-5327Ⅱ型復(fù)合真空計(jì)由雙路熱偶規(guī)(ZJ-53B)與單路電離規(guī)(ZJ-27)組成，用于2.7×102～6.6×10-6Pa之間的壓力測(cè)量，適用于真空應(yīng)用、真空獲得等需要實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)真空與控制輸出的設(shè)備制造行業(yè)，包括半導(dǎo)體制造、鍍膜設(shè)備、真空排氣臺(tái)、真空冶煉設(shè)備等生產(chǎn)車(chē)間及大專(zhuān)院校、科研院所實(shí)驗(yàn)室。儀器使用環(huán)境條件在5℃～35℃，相對(duì)濕度在80%以下，無(wú)強(qiáng)磁場(chǎng)及劇烈震動(dòng)的場(chǎng)合。

2  主要技術(shù)性能規(guī)范
2.1  測(cè)量范圍                 熱偶部分：2.7×102～1.0×10-1 Pa
電離部分：1.3×100～6.6×10-6 Pa
2.2 測(cè)量精度                  熱偶部分：≤±30%
                              電離部分：≤±5%
2.3  電源                      ～220V±22V  50Hz ±1Hz 
2.4 熱偶規(guī)管恒定加熱電流       29mA±1.5mA（27 mA±1.5mA）
2.5  電離規(guī)管發(fā)射電流         1.3×100～1.3×10-1 Pa  100μA
1.3×10-1～6.6×10-6 Pa  1mA  
2.6  加速極對(duì)地電壓          225V±2V
2.7  燈絲對(duì)地電壓             25V±1V
2.8  收集極對(duì)地電壓          0V
2.9  除氣電壓                ～8V±2V 
2.10  儀器外形尺寸            裝架式： 90mm×480mm×280mm
2.11  儀器開(kāi)孔尺寸            88mm×440mm
2.12  儀器重量                5kg